一、主要用途：1、容器、阀或类阀、零件的密封性测试及检验，2、防水性无损测试检验(有无测试孔均可)，3、材料的致密性、零件的瑕疵缺陷的测试检验

　   二、 主要测试方法和装置：

 超声波探测法：原理是泄漏点会产生超声波，使用超声波探测仪即可找出泄漏点。这个仅适用于寻找气体管路泄漏点的检测。(精度很差，最小只能探测到3公斤压力下100um孔径的泄漏，这时的泄漏速度有100000立方毫米/秒以上)   

气泡法：在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体，将工件沉放入水中(或者其它液体中)，观 察是否有气泡溢出。或者在工件表面涂肥皂水，观察是否有气泡产生。(落后，污染产品，效率低下，无法自动化。优点：设备成本低)   

       压力降法：在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体，静止一段时间，再次检测气体的压力，观察压力是否有降低，根据压力的变化来判断是否有泄漏。(落后，效率极其低下，灵敏度最低)  

       压力差法：原理与压力降法类似，但方法更好。在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体，同时在一个标准罐体内通入同样压力的气体，静止一段时间，观察标准罐体内的压力与工件内的压力差。这个比压力降法的精度要高，它可以排除环境温度变化带来的压力偏差。但市面上现有的压差表分辨率只有100~1000pa(灵敏度有所提高，效率也不高)。也有公司开发的传感器或泄漏测试仪能识别0.1Pa的压力变化，也能精密测量泄漏体积，从而对泄漏程度有一个量化数据。方法好，效率高。

      微流量测试法：与上面压差法类似，当有0.1Pa的压差时，就能驱使空气流动，导致传感器的热场变化，从而能在几毫秒内准确测试出微泄漏的量。分辨率最小能探测到0.1 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute:标准大气压下立方厘米/分钟）。 方法好，效率高。

      泄漏收集法：适合阀类产品，一侧（腔体）加压，另一侧（腔体）收集泄漏气体且尽可能减小腔体体积，以增加单位泄漏量下的压力的变化速度。其它方法如负压或背压法也是与此法类似。   压力差法及微流量测试法都可与泄漏收集法配合同时使用，效果更好，效率更高。  在产能要求不高时，通过延长收集时间，能达到质谱仪的探测能力。

示踪气体测漏法 之 卤素气体检漏法：将一定压力的卤素气体（或其它易探测气体）通入密闭的工件腔体中，在工件外部用卤素探测仪检测是否有卤素气体泄漏。(精度尚可，能探测到的最小泄漏速度大约为10~20立方毫米/秒，效率一般，要在所有表面扫描探测，)   

      氢氦质谱仪气检漏法：原理与卤素气体检漏法类似，不同的是使用分子量更小，运动速度更快的氢氦气体，并使用探测灵敏度更高的质谱仪。在20℃标准大气压下，水分子的运动速率约1~2m/s（米/秒），氧气分子运动速率约460m/s，氢氦分子运动速率约1600m/s。将一定压力的氦气，通入密闭的工件腔体中，然后使用氦质谱仪检测工件的腔体周围是否有氢氦元素泄漏，这个是目前高精度检漏所用的方法，比起前面几个方法来说，灵敏度提高了很多，当然，成本也很高。（灵敏度最高，在真空模式下，每秒泄漏超过1亿个气体分子时，就能探测到，在标准大气压下约5立方微米/秒，或10 ^-13立方米*帕/秒，若在大气模式下，灵敏度减少4个数量级，约0.05立方毫米/秒。不仅设备昂贵，而且需要消耗昂贵的氦气，要配置真空泵等，使用时要在所有表面扫描探测）

有没有探测灵敏度接近氢氦气检漏法的，而价格低廉，使用更高效便捷的方法或仪器？XL-500A型泄漏测试仪的灵敏度能接近质谱仪，在产能要求不高时，通过延长收集时间或泄漏时间，能接近质谱仪的探测能力。  总体而言，只有压力差法，微流量测试法，泄漏收集法，这几种方法好，性价比、效率高，也比较容易实现自动化。     对于密封要求极高的产品，且产能也要求很高时，可以选用质谱仪测试泄漏。 如何选择，建议搜索并咨询XL-500A型泄漏测试仪的生产厂家。

该仪器能快速识别0.1~3um微孔或微缝产生的泄漏

分辨率最小能探测到0.1 SCCM

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